超精密微加工技术

1. 方案简介
2. 应用场景

• • 全闭环光栅加工精度可以达到0.003mm

  • 具有“ 0.1μ 进给和1μ 切削 ”能力

  • 微小特征加工。最小刀径 0.1- 0.15mm

  • 镜面加工效果，光洁度可以做到5nm